半导体器件混合气体腐蚀试验箱试验箱
设备用途 | 本设备主要用于在人工模拟富含SO2、H2S、NO2、CL2气体在的潮湿恒温环境下对试验产品的加速♊腐蚀老化情况，以便对材料及产品针对性地进行技术改进或质量分析检验。 |
满足标准 | GB/T 2423.19-2014、GB/T 2423.20-2014.GB/T 2423.51-20𝓰20、IEC 68-2-60、EIA-364-65A、EIA-364-65B等试验方法。 |
温度范围 | 不小于15℃～50℃。 |
相对湿度 | 不小于(60%～95%)±3% RH。 |
温度均匀度 | ≤2℃。 |
温度波动度 | 不小于±0.5 ℃。 |
试验时间 | 0～9999 小时可调。 |
二氧化硫浓度 | (100～500)×10-9 V0L\VOL(可调)。 |
硫化氢浓度 | （10～200）×10-9 V0L\VOL(可调)。 |
二氧化氮浓度 | 200×10-9 V0L\VOL(可调)。 |
氯气浓度 | （10～30）×10-9 V0L\VOL(可调)。 |
气体产生法 | 钢瓶法。 |
气体浓度测量法 | 通过公式计算体积比的方式，再利用质量流量计计量。 |
试验气体流量 | 根据试验要求使用防腐质量流量计可调。 |
试验气体每小时体积更换数 | （3～10）次（可调）。 |
样品架 | 满足标准规定。 |
使用环境温度 | 5℃～ 30℃。 |
使用环境湿度 | ≤85%。 |
制冷方式 | 风冷。 |
全系统管路均作通气加压48H捡漏测试。 | |
加温.降温系统完全独立。 | |
干燥过滤器、冷媒流量视窗、修理阀、油分离器、电磁阀、贮液筒均采用原装件 | |
制造厂商：东莞市环仪仪器科技有限公司 | |
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